电容式微机械超声波换能器
什么是 CMUT？
CMUT（电容式微机械超声换能器）是一项突破性的超声技术。CMUT换能器是基于MEMS的结构，可用于发送和接收超声波范围内的声信号。它们使超声技术在医疗、显微镜、喷墨打印和测试等各种行业中实现了突破性应用。与传统技术相比，CMUT超声换能器具有许多优点，例如带宽大、易于制造大型阵列以及与驱动电路的集成：CMUT-on-CMOS。
CMUT技术在制造中的优势
除了这些优势之外，CMUT技术还提供了很大的设计自由度，使您的定制超声MEMS器件成为可能。我们在CMUT器件设计和加工方面的经验使我们能够支持您的定制MEMS器件要求。我们的CMUT技术能够以更低的成本制造大批量超声换能器和高集成度。您将受益于我们的专业知识，这些专业知识是通过开发和制造一系列CMUT阵列设备而建立的。我们的CMUT技术平台缩短了设计周期，从而缩短了产品上市时间。与飞利浦工程解决方案合作是获得可靠 CMUT 设备的最快方法。
CMUT技术能够在各种条件下运行：
温度
-40 °C 至 200 °C（特定应用设计时最高 250 °C）。压力
高达 10 bar。耐磨性
保护堆可用于各种应用，耐刮擦和抗冲击。化学稳定性
耐硫酸 （98%）、氨水、氢氧化钠、草酸钠、丙酮、乙醇等物质。
CMUT的工作原理是什么？
CMUT阵列的基本元件是平行板电容器。一块板是固定的，另一块板由柔性膜支撑。在接收模式下，超声波会引起膜振动和电容变化，可以检测到。
在透射模式下，在膜和基板背板之间施加交流电压。由此产生的静电力引起膜振动，以调制频率发出超声波。
CMUT传感器的主要特点
频率范围：500 kHz至50 MHz
大带宽：浸入感超过100%
元件间机械耦合低，无串扰
与ASIC集成：CMUT-on-CMOS
符合ROHS标准，无有毒物质
每个阵列的 CMUT 数量、阵列大小和阵列布局范围很大
易于实现的小型化，从而实现小尺寸
CMUT应用领域
医学影像
药物治疗（高强度聚焦超声HIFU）
“智能”医疗器械
无损检测
超声波流量计量
短距离距离测量
超声显微镜
粒子和流体操纵
喷墨打印
CMUT 示例
CMUT - 电容式微机械超声波换能器可用于一系列行业和应用。在这里，您可以看到我们与合作伙伴共同开发的CMUT阵列的一些示例。‹
各种CMUT布局，连接灵活
CMUT晶圆上的电子组装
医学成像CMUT阵列
柔性基板上的可卷曲CMUT阵列
定制CMUT阵列，集成灵活的电气连接
柔性箔上的定制CMUT阵列
各种CMUT布局，连接灵活
CMUT晶圆上的电子组装
医学成像CMUT阵列
柔性基板上的可卷曲CMUT阵列
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柔性箔上的定制CMUT阵列
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