美国PMS LiQuilaz II液体粒子计数器, LiQuilaz II计数器s02 s03 s05产品介绍:
LiQuilaz® II
系列液体粒子计数器是体积式粒子计数器,有不同的灵敏度,高灵敏度的粒子计数器可监测小至0.2um的粒子。她们为大多数工艺化学品提供高精密分析,例如氢氟酸和高达306°F
(150 °C)的热腐蚀剂。LiQuilaz II 粒子计数器的测量结果具有准确性、可靠性和重复性,深受客户信任。 LiQuilaz II
粒子计数器具有RS-485和以太网网络通信功能,新功能提高了监测的灵活性,而且使安装变得更加简单。体积式粒子计数器通过监测100%采样体积(多达80
毫升/分)提供高精确度的结果,所以短时间采样的数据结果也具有统计意义。
灵敏度:
S02: 0.2 - 2.0 µm,
S03: 0.3 - 3.0 µm,
S05: 0.5 - 20.0 µm
美国PMS LiQuilaz II液体粒子计数器, LiQuilaz II计数器s02 s03 s05产品特点:
1、0.3 -3.0μm大小区间,流量是80 ± 10% 毫升/分钟
2、支持广泛的应用和流体,和不同管道标准兼容,嵌入、批次采样能力,RS-485网络兼容
3、操作简易,体积小巧,可以轻松安装在制程的任何位置
4、用户可选择的粒子大小范围
5、实时表征和分析粒子污染,对粒子污染的反应速度快,全量监测,具有更高的监测精确度,适用于更严格的制程控制
7、可选购的软件具有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能,便于制程控制,配合压缩或是注射采样器使用
8、灵活的软件为实时或检索数据提供了许多可见的选择
美国PMS LiQuilaz II液体粒子计数器, LiQuilaz II计数器s02 s03 s05产品应用:
使用压缩采样进行冒泡的化学品测量
化学质量保证
工艺槽监测
去离子水监测
化学品传输系统
光刻胶监测
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